1、氣動、液動執(zhí)行機(jī)構(gòu)
a、膜片 對薄膜式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)來說，膜片是重要的元件，在氣源系統(tǒng)正常的情況下，如果執(zhí)行機(jī)構(gòu)不動作，就應(yīng)該想到膜片是否破裂、是否沒安裝好。當(dāng)金屬接觸面的表 面有尖角、毛刺等缺陷時(shí)就會把膜片扎破，而膜片不能有泄漏。另外，膜片使用時(shí)間過長，材料老化也會影響使用。
b、活塞 氣動、液動執(zhí)行機(jī)構(gòu)的活塞產(chǎn)生驅(qū)動力，因此活塞的損壞、磨損是不允許的。
c、氣（液）管 這是輸入壓力通向執(zhí)行機(jī)構(gòu)的通路，因此要經(jīng)常檢查是否接牢，不漏氣。
d、推桿 要檢查推桿有無彎曲、變形、脫落。推桿與閥桿連接要牢固，位置要調(diào)整好，這樣才能確保足夠的行程并關(guān)閉閥門。
e、彈簧 要檢查彈簧有無斷裂。制造、加工、熱處理不當(dāng)都會使彈簧斷裂。有些彈簧在過大的載荷作用下，也可能斷裂。
2、電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)
a、電機(jī) 檢查電機(jī)是否能轉(zhuǎn)動，是否容易過熱，是否有足夠的力矩和耦合力。
b、伺服放大器 檢查是否有輸出，是否能調(diào)整。
c、減速機(jī)構(gòu) 各廠家的減速機(jī)構(gòu)各不相同。因此要檢查其傳動零件—軸、齒輪、蝸輪等是否損壞，是否磨損過大。
d、力矩控制器 根據(jù)具體結(jié)構(gòu)檢查其失靈原因。